Технология производства устройств радиотехники и связи (Topical Term)

Machine generated authority record.

Work cat.: (AM-YeNLA)1081227: Борисов, Юрий Владимирович 196638, Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ :, 1988.