Хохлов, Михаил Валентинович (Personal Name)

Machine generated authority record.

Work cat.: (AM-YeNLA)1077076: Хохлов, Михаил Валентинович, Иследование и разработка основных технологических процессов создания трехмерных интегральных схем на основе пленок рекристаллизованного кремния :, 1988.