Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Физические основы ионно-лучевого легирования : Материалы научной конференции (июнь, 1971 г., Горький) / Редкол.: П.В. Павлов и др.; Горьк. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского. - Горький : Б. и., 1972. - часть.

Ч. 1 (1972, 160 с., ил.) Ч. 2 (1972, 165-256 с., ил.)

Subjects--Topical Terms:
Полупроводники - Легирование ионное - Сборники