Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Электронная литография и ее применение в микроэлектронике : (Материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23-24 октября 1975 г., Москва) / Под ред. Л.А. Красовская. - Москва : Электроника, 1976. - 53 с. - Микроэлектроника 1(53) .

Subjects--Index Terms: Микроэлектроника