Основы технологии электронной компонентной базы : Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления и термовакуумного напыления : Учебно-методическое пособие по лабораторным работам /
Геворкян, В.А.
Основы технологии электронной компонентной базы : Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления и термовакуумного напыления : Учебно-методическое пособие по лабораторным работам / В.А. Геворкян ; Рос.-Арм. (Слав.) ун-т; Ин-т математики и высоких технологий, Каф. "Технология материалов и структур электронной техники". - Ереван : РАУ, 2015. - 52 с. : ил., табл., граф. ; 25 см. - 621.38(076.5) (NLA) .
Библиогр.: с. 50 (5 назв.)
978-9939-67-112-3
Техника в целом
Электроника--Методическое пособие
Наноэлектроника--Методическое пособие
621.38(076.5) (NLA)
Основы технологии электронной компонентной базы : Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления и термовакуумного напыления : Учебно-методическое пособие по лабораторным работам / В.А. Геворкян ; Рос.-Арм. (Слав.) ун-т; Ин-т математики и высоких технологий, Каф. "Технология материалов и структур электронной техники". - Ереван : РАУ, 2015. - 52 с. : ил., табл., граф. ; 25 см. - 621.38(076.5) (NLA) .
Библиогр.: с. 50 (5 назв.)
978-9939-67-112-3
Техника в целом
Электроника--Методическое пособие
Наноэлектроника--Методическое пособие
621.38(076.5) (NLA)