Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Зорин, Евгений Иванович

Ионное легирование полупроводников / Е.И. Зорин, П.В. Павлов, Д.И. Тетельбаум. - Москва : Энергия, 1975. - 128 с. - Б-ка радиотехнолога Вып. 6 .

Библиогр.: с. 120-128

Subjects--Index Terms: Полупроводниковые приборы