Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике : Сборник научных трудов [по проблемам микроэлектроники] / Моск. ин-т электрон. техники; Науч. ред. Н.Д. Дубовой. - Москва : МИЭТ, 1979. - 161 с. : ил.

Библиогр. в конце работ

Subjects--Index Terms: Микроэлектроника - Сборники