Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Активируемые процессы технологии микроэлектроники : Сборник научных трудов / Московский ин-т электронной техники; Отв. ред.: Ю.Д. Чистяков. - Таганрог : Таганрогского радиотехнического ин-та , 1980. - 124 с.

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектронные схемы - Производство - Сборники