Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Автоматические приборы и оборудование в микроэлектронике : Сборник научных трудов / Моск. ин-т электрон. техники ; [Редкол.: А.А. Сазонов (отв. ред.) и др.]. - Москва : МИЭТ, 1981. - 124 с. : ил.

Библиогр. в конце ст.

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектроника

Subjects--Index Terms: Микроэлектронные схемы электронные - Производство - Автоматизация Автоматизация - Микроэлектронные схемы электронные - Производство