Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы /
Киреев, Валерий Юрьевич
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Химическое осаждение из газовой фазы В. Киреев, А. Столяров. - Москва : Техносфера, 2006. - 190 с. : ил., табл. - Мир электроники VII, 17 .
Библиогр.: с. 188-190
5-94836-039-3
Радиоэлектроника--Радиотехника
Радиоэлектронная аппаратура
Микроэлектроника--Интегральные схемы--Технология производства--Нанесение покрытий
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Химическое осаждение из газовой фазы В. Киреев, А. Столяров. - Москва : Техносфера, 2006. - 190 с. : ил., табл. - Мир электроники VII, 17 .
Библиогр.: с. 188-190
5-94836-039-3
Радиоэлектроника--Радиотехника
Радиоэлектронная аппаратура
Микроэлектроника--Интегральные схемы--Технология производства--Нанесение покрытий