Кинетика и механизм термического окисления кремния /
Анохин, Валентин Захарович
Кинетика и механизм термического окисления кремния / В.З. Анохин. - Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1983. - 196 с.
Неорганическая химия
Кинетика и механизм термического окисления кремния / В.З. Анохин. - Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1983. - 196 с.
Неорганическая химия