Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Малин, Б,В.

Основы фотолитографии в производстве интегральных схем / Б.М. Малин, Т.И. Эрез; М-во электронной промышленности СССР. - Москва : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1973. - 39 с. : ил. - Обзоры по электронной технике Микроэлектроника 2(86) .

Библиогр.: с. 35-38

Subjects--Index Terms: Электротехника