Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Рубцова, Нина Николаевна

Основные проблемы современной фотолитографии : (Аналитический обзор) / И.Н. Рубцова; М-во электр. промышленности СССР. - Москва : Электроника, 1973. - 64 с. : ил. - Обзоры по электронной технике. Сер. полупроводниковые приборы 3(98) .

Библиогр.: с. 57-64

Subjects--Index Terms: Фотолитография