Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике : Сборник научных трудов / Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Блинов И. Г. (отв. ред.) и др.]. - Москва : МИЭТ, 1981. - 151 с. : ил.

Библиогр. в конце работ

Subjects--Index Terms: Электронная технология - Сборники