Ионно-активированная кристаллизация пленок /
Лютович, Абрам Срулевич
Ионно-активированная кристаллизация пленок / А.С. Лютович ; Отв. ред. М.С. Саидов ; ИЭ АН УзССР. - Ташкент : Фан , 1982. - 148 с.
1.60
Получение тонких слоев, тонких пленок
Ионно-активированная кристаллизация пленок / А.С. Лютович ; Отв. ред. М.С. Саидов ; ИЭ АН УзССР. - Ташкент : Фан , 1982. - 148 с.
1.60
Получение тонких слоев, тонких пленок