Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы : Сборник статей / Пер. с англ. под ред. В.С. Вавилова. - Москва : Мир , 1980. - 331 с. ; 20 см. - Новости физики твердого тела Вып. 10 .

ISBN: 2.80

Subjects--Topical Terms:
Взаимодействие с поверхностью твердых тел
Ионы