Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Данилин, Борис Степанович

Магнетронные распылительные системы / Б.С. Данилин, В.К. Сырчин. - Москва : Радио и связь, 1982. - 72 с.

Библиогр.: с. 69 - 72 (82 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Электроэнергетика

Subjects--Index Terms: развитие вакуумный методов получения тонкопленочных слоев магнетронные распылительные системы