Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Измерение и контроль при производстве интегральных схем : Сборник научных трудов / Моск. ин-т электрон. техники; Редкол.: Н.Д. Дубовой (гл. ред.) и др. - Москва : МИЭТ, 1984. - 115 с. : ил.

Библиогр. в конце ст.

Subjects--Index Terms: Микроэлектронные схемы интегральные - Технический контроль автоматический - Сборники Технический контроль автоматический - Микроэлектронные схемы интегральные