Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах : Материалы VII-ой международной конференции (Вильнюс, 26-28 сентябр 1983 г.) / [Редкол.: З. В. Янушкявичюс (отв. ред.) и др.]. - Вильнюс : МВ ССО ЛитССР, 1985. - 360 с. : ил.

В надзаг.:М-во высш. и сред. спец. образования ЛитССР, Вильн. гос. ун-т им. В. Капсукаса

Subjects--Index Terms: Полупроводники - Легирование ионное - Сборники