Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники : Сборник научных трудов / Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: И. Г. Блинов (гл. ред.) и др.]. - Москва : МИЭТ, 1985 - 119 с. : ил. ; 20 см.

Библиогр. в конце ст.

Subjects--Index Terms: Электронная промышленность, предприятия - Оборудование Микроэлектронные схемы интегральные - Производство