Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Щеглова, Валентина Викторовна.

Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов : (краткий обзор по материалам отечественной и зарубежной печати за 1968 г.) / В.В. Щеглова; М-во электронной промышленности СССР, ЦНИИ "Электроника". - Москва : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1969. - 50 с. - Полупроводниковые приборы .

Библиогр.: с.44 -49 (67 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Электронная техника

Subjects--Index Terms: основные типы диэлектрических пленок защитные пленки