Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов :
Шаблов, В.И.
Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов : обзоры по электронной технике / В.И. Шаблов, Е.И. Беркушкина, З.М. Шарова; М-во электронной промышленности СССР, ЦНИИ "Электроника". - Москва : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1973. - 29 с. - Электровакуумные и газоразрядные приборы .
Библиогр.: с. 27 - 28 (31 назв.)
Электронная техника
оборудование ионно-плазменного распыления приборы для измерения параметров тонких пленок
Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов : обзоры по электронной технике / В.И. Шаблов, Е.И. Беркушкина, З.М. Шарова; М-во электронной промышленности СССР, ЦНИИ "Электроника". - Москва : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1973. - 29 с. - Электровакуумные и газоразрядные приборы .
Библиогр.: с. 27 - 28 (31 назв.)
Электронная техника
оборудование ионно-плазменного распыления приборы для измерения параметров тонких пленок