Получение эпитаксиальных пленок кремния в вакууме и их свойства :
Черняев, Владимир Николаевич.
Получение эпитаксиальных пленок кремния в вакууме и их свойства : обзоры по электронной технике / В.Н. Черняев, Л.В. Кожитов, А.В. Попов; М-во электронной промышленности СССР. - Москва : Изд-во Ин-т "Электроника", 1973. - вып. - Материалы .
Вып. 5(88) (1973, 72 с., библиогр.: с. 66 - 72 (94 назв.)
Электронная техника
получения слоев кремния в вакууме эпитаксиальные пленки
Получение эпитаксиальных пленок кремния в вакууме и их свойства : обзоры по электронной технике / В.Н. Черняев, Л.В. Кожитов, А.В. Попов; М-во электронной промышленности СССР. - Москва : Изд-во Ин-т "Электроника", 1973. - вып. - Материалы .
Вып. 5(88) (1973, 72 с., библиогр.: с. 66 - 72 (94 назв.)
Электронная техника
получения слоев кремния в вакууме эпитаксиальные пленки