Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана : обзор. информ. / И.В. Гранков, В.М. Гуревич, Л.Н. Демин, Ю.В. Юшков; М-во цвет. металлургии СССР. - Москва : Цветметинформация, 1976. - 52 с. - Производство редких металлов .

Библиогр.: с. 44 - 49

Subjects--Topical Terms:
Цветная металлургия

Subjects--Index Terms: эпитаксиальные пленки