Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Физические основы микроэлектронных приборов : Сборник научных трудов / Моск. ин-т электрон. техники; Редкол.: Т. Д. Шермергор и др. - Москва : МИЭТ, 1987. - 144 с. : ил. ; 22 см.

Библиогр. в конце ст.

Subjects--Index Terms: Микроэлектронные схемы интегральные - Физические основы - Сборники