Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Палатник, Лев Самойлович.

Поры в пленках / Л.С. Палатник, П.Г. Черемской, М.Я. Фукс. - Москва : Энергоиздат, 1982. - 216 с. : рис.

Библиогр. 390 назв.

Subjects--Topical Terms:
Получение тонких слоев, тонких пленок

Subjects--Index Terms: неоднородность роста аморфных пленок микроусадка