Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Докунина, Наталия Ивановна

Измерение толщины тонких пленок отличающихся электрофизическими свойствами / Н.И. Докунина; М-во электронной промышленности СССР. - Москва : Ин-т "Электроника", 1970. - 31 с. - Обзоры по электронной технике Контрольно-измерительная аппаратура Вып. 7 (181) .

Библиогр. : с. 28 - 29

Subjects--Topical Terms:
Электрофизические свойства пленок

Subjects--Index Terms: полупроводниковые приборы