Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Денисов, Альберт Георгиевич.

Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии : обзор / А.Г. Денисов, Н.А. Кузнецов, В.А. Макаренко; М-во электронной пром-cти, ЦНИИ "Электроника". - Москва : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1981. - 52 с. - Технология, организация производства и оборудование .

Библиогр.: с. 49 - 52 (45 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Электронная промышленность

Subjects--Index Terms: однокамерные установки молекулярно-лучевая эпитаксия