Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Глудкин, Олег Павлович.

Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС / О.П. Глудкин, А.Е. Густов; Отв. ред. В.М. Пролейко. - Москва : Радио и связь, 1981. - 112 с. - Массовая библиотека инженера "Электроника" № 26 .

Библиогр.: с. 105 - 108 (66 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Электротехника

Subjects--Index Terms: фотометрические методы источники погрешностей