Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния /
Верховский, Е.И.
Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / Е.И.Верховский, Г.И. Епифанов; М-во электрон. промыш. СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972. - 24 с. - Обзоры по электронной технике Вып. 9 (42) .
Библиогр.: с. 21 - 23 (35 назв.)
Электронная техника
технологические приемы
Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / Е.И.Верховский, Г.И. Епифанов; М-во электрон. промыш. СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972. - 24 с. - Обзоры по электронной технике Вып. 9 (42) .
Библиогр.: с. 21 - 23 (35 назв.)
Электронная техника
технологические приемы