Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Барил, Михаил Абрамович

Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы : обзоры по электронной технике / М.А. Барил, Ю.П. Ирошников, М.Ф. Егорова. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971. - 28 с. : рис. - Микроэлектроника вып. 8 .

Библиогр.: с. 25 - 26 (77 назв.)

Subjects--Topical Terms:
наращивание эпитаксиальных слоев кремния

Subjects--Index Terms: зарубежное оборудование