Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Бакун, А.В.

Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов : реферативно-аналитический обзор / А.В. Бакун, В.В. Щеглова; М-во электр. пром. СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1974-. - часть. - Полупроводниковые приборы .

Библиогр.: с. 44 - 47 (41 назв.)

Ч. 1 (1974, 48 с.) Ч. 2 (1974, 68 с.)

Subjects--Topical Terms:
Электронная техника

Subjects--Index Terms: полупроводники