Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Аппаратура для диффузии и эпитаксии : обзоры по электронной технике / В.М. Гришин и др; ред. Е.С. Корякина; М-во электр. пром-сти СССР. - Москва : Изд-во ЦНИИ Электроника, 1975. - 44 с. : рис., табл. - Полупроводниковые приборы вып. 3 (282) .

Библиогр.: с. 39 - 43 (50 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Полупроводниковые приборы

Subjects--Index Terms: микроэлектроника