Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Карбань, Валерий Иванович

Обработка монокристаллов в микроэлектронике / В.И. Карбань, Ю.И. Борзаков. - Москва : Радио и связь, 1988. - 103 с. : ил. - Массовая библиотека инженера "Электроника" .

Библиогр.: с. 96-102

Subjects--Index Terms: Микроэлектроника - Обработка монокристаллов Монокристаллы в микроэлектронике