Диффузия и окисление полупроводников /
Колобов, Николай Афанасьевич
Диффузия и окисление полупроводников / Н.А. Колобов, М.М. Самохвалов. - Москва : Металлургия, 1975. - 456 с.
Библиогр. : с. 438 - 449
Термодинамика диффузии
процесс диффузии
Диффузия и окисление полупроводников / Н.А. Колобов, М.М. Самохвалов. - Москва : Металлургия, 1975. - 456 с.
Библиогр. : с. 438 - 449
Термодинамика диффузии
процесс диффузии