Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Физические основы приборов микроэлектроники : Сборник научных трудов / Моск. ин-т электрон. техники; Под ред. Т.Д. Шермергора. - Москва : МИЭТ, 1988. - 132 с. : ил.

Библиогр. в конце ст.

Subjects--Index Terms: Микроэлектронные схемы интегральные - Физика - Сборники