Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Неволин, Владимир Кириллович

Зондовые нанотехнологии в электронике : Учебное пособие / В.К. Неволин. - 2-е изд., испр. и доп. - Москва : Техносфера, 2006. - 159 с. : ил., табл. - Мир электроники VII (25) . - 621.38-022.53 . - З844.19-06-5,0 .

Библиогр. в конце гл.

ISBN: 5-94836-098-9 (В пер.)

Subjects--Topical Terms:
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Оборудование

Universal Decimal Class. No.: 621.38-022.53