Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Шестая Всесоюзная конференция по физико-химическим основам легирования полупроводниковых материалов, Москва, 17-19 окт. 1988 г. : Тезисы докладов. - Москва : Наука, 1988. - 240 с.

АН СССР, Науч. совет по пробл. "Физ.-хим. основы полупроводникового материаловедения", Ин-т металлургии им. А.А. Байкова

ISBN: 5-02-007213-3

Subjects--Index Terms: Полупроводники - Легирование - Физико-химические основы