Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана /
Витязь, Петр Александрович
Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана / П.А. Витязь, Г.Н. Дубровская, Л.М. Кирилюк ; Под ред. О.В. Романа. - Минск : Наука и техника, 1983. - 96 с. : ил. 38, табл. 18.
Библиогр. 86 назв.
Нанесение металлических и неметаллических покрытий
Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана / П.А. Витязь, Г.Н. Дубровская, Л.М. Кирилюк ; Под ред. О.В. Романа. - Минск : Наука и техника, 1983. - 96 с. : ил. 38, табл. 18.
Библиогр. 86 назв.
Нанесение металлических и неметаллических покрытий