Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Технология ионного легирования / Под ред. С. Намбы ; Пер. с яп. В.Ф. Овчарова ; Под ред. П.В. Павлова. - Москва : Советское радио, 1974. - 160 с. : 6 табл., 100 рис.

Библиогр. 301 назв.

Subjects--Topical Terms:
Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника