Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Мягков, Алексей Тихонович

Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / А.Т. Мягков, Е.М. Корсетов. - Москва : Энергия, 1979. - 312 с. : ил.

Библиогр.: с. 305-310

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектроника

Subjects--Index Terms: Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство - Оборудование