Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Борисенко, Александр Сергеевич

Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : Учебное пособие / А.С. Борисенко, Н.И. Бавыкин. - Москва : Машиностроение, 1983. - 320 с. ил.

Список лит. с. 318-319

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектроника. Интегральные схемы