Эллипсометрия в микроэлектронике /
Резвый, Ростислав Ростиславович
Эллипсометрия в микроэлектронике / Р.Р. Резвый. - Москва : Радио и связь, 1983. - 120 с. : ил.
Список лит. с. 118-120
Электроника
Эллипсометрия в микроэлектронике / Р.Р. Резвый. - Москва : Радио и связь, 1983. - 120 с. : ил.
Список лит. с. 118-120
Электроника