Тонкопленочная технология /
Берри, Р.
Тонкопленочная технология / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; Пер. с. англ. В.И. Генкина, Е.И. Гиваргизова. - Москва : Энергия, 1972. - 336 с. ил.
Список лит. с. 329-335
Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
Тонкопленочная технология / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; Пер. с. англ. В.И. Генкина, Е.И. Гиваргизова. - Москва : Энергия, 1972. - 336 с. ил.
Список лит. с. 329-335
Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника