Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Жидкофазная эпитаксия кремния / Л.В. Кожитов, В.В. Липатов, А.С. Тимошин, М.П. Волков. - Москва : Металлургия, 1989. - 201 с. ил.

Авт. указаны на обороте тит. л.

Библиогр.: с. 195-201

ISBN: 5-229-00341-3

Subjects--Index Terms: Полупроводниковые пленки - Получение Кремний - Кристаллы - Рост