Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Папков, Владимир Сергеевич

Эпитаксиальные кремневые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе / В.С. Папков, М.Б. Цыбульников ; Под ред. А.Ю. Малинина. - Москва : Энергия, 1979. - 88 с. ил.

Список лит. с. 85-88

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектроника. Интегральные схемы