Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Барил, Михаил Абрамович

Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем / М.А. Барил, В.К. Самойликов. - Москва : Энергия, 1978. - 112 с. : ил. - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры Вып. 12 .

Список лит. с. 110-111

Subjects--Topical Terms:
Электронное машиностроение