Комбинированные электроразряднын геттерно-ионные вакуумные насосы :
Комбинированные электроразряднын геттерно-ионные вакуумные насосы : Обзорная информация /
Ш.А. Ахманов, М.Ш. Галимарданов, Н.П. Решетняк и др.; ЦИНТИхимнефтемаш.
- Москва : Изд-во ЦИНТИхимнефтемаш, 1979.
- 38 с. ил.
- Серия ХМ-6. Криогенное и вакуумное машиностроение .
Вакуумные насосы
Вакуумные насосы