Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы: Обзоры по электронной технике. Часть 1. Тенденции развития и классификация реакторов /
Иванов, В.И.
Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы: Обзоры по электронной технике. Часть 1. Тенденции развития и классификация реакторов / В.И. Иванов, Н.И. Николайкин, Э.Б. Сигалов; Мин-во электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "'Электроника", 1977. - 35 с. - Серия 7.Технология, организация производства и оборудование Вып. 14 .
Реакторы
Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы: Обзоры по электронной технике. Часть 1. Тенденции развития и классификация реакторов / В.И. Иванов, Н.И. Николайкин, Э.Б. Сигалов; Мин-во электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "'Электроника", 1977. - 35 с. - Серия 7.Технология, организация производства и оборудование Вып. 14 .
Реакторы