Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Ронская, Л.Ф.

Очистка поверхности полупроводниковых пластин в производстве интегральных схем : Обзоры по электронной технике / Л.Ф. Ронская, Е.А. Бродянский, В.Д. Скубриев; Под ред. А.С. Белановского; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : Электроника, 1971. - 126 с. ил. - Микроэлектроника. Вып. 3 .

Библиогр.: с. 119 - 123 (94 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Полупроводниковые пластины